������������������������ ������� � ���������� (Micro Electromechanical Systems, MEMS) �������� ����� ������������� ������������, ������� ������ ����������� ��������� ������� ������� ���������� ��������. ��, MEMS ����� ���� ������������ ����������, � ��������� ����� ���������� �������� �������� ���������� ���� ����������. ���� ����������� MEMS �������� �� ��������� ��������, ���������� �� ����, ��� � ��������� ����� ��� ��� ����������, � ������� ������� ����� ����������� ���������������� ������� ����� � ��� �� �����, �������� ��� ���� �������� �������. ��� �� ��������� �������� �������� �� ������ MEMS ������������ ��� ����, ��� ������ ��� �� ������� ��� �� ����������� ������ ��������� ���������������� ��������, ����� ��� ����, ����������, ��������, ��� ������ �� ����� ���������� ������ ����������. ������ ��, ��������� ������ ������ �������������� �� ������������ �����, ��� �������� ����� ����������. ������ ������� ����������� � ���������� ������ ������� MEMS, ������� �������� �������� ��������������. ����� ���������� ������� �������� ���� MEMS ����� ������� ��� �������� �������� ������� ��������� ���������� ��������, ������� ������ ���������� � ����� ��������� ��������, �� ����������� �� ������� ����������.

� ������� ������ ��� ������-������, ��������� �� ������������� �� ������� �����������, ������ ��� ��������� �������� ���������� ������ ���� ����������� ������������ ������, ���������� ���������� � ������� �������� ����� ����������, �.�. �������� �������� ������� ��������� ������ ����� ��������. �� �� ��� ��� ����� �� ���� ���������� ������� ������������ ������� � ���� �������. �� ��� ����� ������� ������ �� ������������ ����� ������� ��� ������������, ������� ������� � �������� ������� ����������� �������� ������� ����������� ������������ ������, ������� ��� � ��������� ������� ������������ �������� �� ������, �������� � ���������� ������.

� ������������� ����� ��������� ������������ ������� ��������, ���������� � ����������� �������, ������������� ���� �������� � ���, ��� ��������� ��������������� ���� � 30 ��������� �������� ��� ������� ������� ������ � ����������, ��������� �� ����� ���������� ������ ������ ����� �� ������� ��������. ������������� ���� �������� � ���, ��� �������������� �������������� � ����� 10 ��������� �������� ������� �� ��������, ��� ������ ����� ����� ������� ������� �������� ��� ����� ������������ ���� � ������������ � ������������� ����������� �������������� ��� ����������� ������� �� ����.