������������������������
������� � ���������� (Micro Electromechanical Systems, MEMS) �������� �����
������������� ������������, ������� ������ ����������� ��������� ������� �������
���������� ��������. ��, MEMS ����� ���� ������������ ����������, � ��������� �����
���������� �������� �������� ���������� ���� ����������. ���� ����������� MEMS ��������
�� ��������� ��������, ���������� �� ����, ��� � ��������� ����� ��� ��� ����������, �
������� ������� ����� ����������� ���������������� ������� ����� � ��� �� �����,
�������� ��� ���� �������� �������. ��� �� ��������� �������� �������� �� ������ MEMS
������������ ��� ����, ��� ������ ��� �� ������� ��� �� ����������� ������ ���������
���������������� ��������, ����� ��� ����, ����������, ��������, ��� ������ �� �����
���������� ������ ����������. ������ ��, ��������� ������ ������ �������������� ��
������������ �����, ��� �������� ����� ����������. ������ ������� ����������� �
���������� ������ ������� MEMS, ������� �������� �������� ��������������. �����
���������� ������� �������� ���� MEMS ����� ������� ��� �������� �������� �������
��������� ���������� ��������, ������� ������ ���������� � ����� ��������� ��������, ��
����������� �� ������� ����������.