������������� ����������-������� ���������� (electron-beam lithography, EBL) �� ��������� � ����������� �������������� ���������� �������� ����� �� �������� ������� ������������ � ����������� ���������������. ����� ������� ��������� ���������� �� ������� ���������� (��������������) ����������� � ��������� � ����������� �� �����������, �� ������ ��������� ������� � ������, �������� ���������, �����, ��� ���������� ����������, �������� �������- � ����������������, ������� �������������� �� ������ ����� ����������.

������������ ���������� ����������� ���������� ������������ ������������ ���������� � ��������� ��������� �� ��������� ������� 10-20 ����������. ������, ������� ��������� �������� ��� ������� ������� ���������, ������� ������� ���� ������������� �������, ��� ����� ������������ ������� �� ������������� ���������� ��� ����������� ����������� ����� ��������� ���������.

������ ������� ������ ��� ����� ���������� ������ ����� ����������, ��������� ����������� ������������ ������ ��� ������������ ��������������. � ��������� ������� � ���� ���� ������� �������� ������ �� ������ �������������� �������������� (Center for Functional Nanomaterials, CFN) ������������ ����������� ����������� (Brookhaven National Laboratory). ��� ���������� ���������� ����������-������� ���������� ��� ������������ �������������� ����������� ���������, ��� �������� ��� ��������� �� ������ �� ����- ����������� ������ (poly(methyl methacrylate), PMMA).

������ ������������� ������������ ����������, ������ ������������ ��� ���������� "��������� �������", ����������� �������, ������������ ����������� ���, ��������������� �� ������� � ��������� ������, ������ �� ������� �������, ������������� ��� ������ ������������������� ������������ �����������. � ���������� ������������� ����� �������������� ���� ������ ������� ������� �������� �� ������� ����������, �������� ������� ����� ������ � 1 �������� ��� ���������� ����� ���������� ���������� � 11 ����������. ��� ����� ������� ������ ���� �������� ��������� ���������, ������� �������� ����� ������ ��������� �� ���������� ���������.

"�� ���������� ���������� ������ � ���������� ���������, ������� ���� �������� �� ������ �������� ������ � ��������� ����������� ������������, �� � ��������� ��������� � ����� �� ����������� ������������" - ������������ ����� ����� (Aaron Stein), ������� ������� ��������� CFN.

���������, ����������� �� ��������� � �������� ���������� �������� ���������, ���������� ����� 200-���������� ���������� �������� �������� (� 5 �� 1.7 ���������) � 100-���������� ���������� ��������� ��������� (�� 0.4 �� 0.8 ��������� ������� �� ���������� ���������), � �������� ����� ���������� ��� �������� � 16 �� 11 ���������� �� ��������� � ��������� ����������, ���������� ����� ��� ������ ������ ����������.

� ����� ���������� ������ ������ ��������� ������������ ����� ���������� ��� �������� ������� ������� ����������, ������� ������������ ������� ��������� �� ���������. � ������ ������� ���������� ���������� ������ ���������� �������������, ����������� � ���������� �������� �������� ������ ����������� ���������� ��� �������� �� ��������������� �������.