������� ������� �������� - ��������� ������ ��� ����������������� ���������, ��������� ������� ����� "�����������" �� ������ ������������������� � ������� ���������� ����� ��� �����, ���� �� ����������� ����������� ��� �� ������ �� ���������. �������� �� ������������ ��� ����������� ����� ��� ����������� ����, ������� �������� �� ������������� ������������������������ ���������. ������ � ����������, � "������" � ������� ����� �������� �������� �����, ����� �������� ��� ����� � ����� ������� ��������, � ������� �� ����� ������� ������� ���������, �� ��������� ������� �������� � ���� � ����� ������� ������.

����������� ����������������� ���������� �������� �� ���� ������������������ ������, �� �������� ����� ������������� ���. �� ����� ������������ ��������� �������� �� �������� ��������������, ��� ���������� � ����������������� ������� ���������� ����, ������� ������������ ��� ��������� �������� �������, ��� �������� � ����� ��������� � ������ ������ � � ��������� ������ � ������ ������. � �������� ����������������� ���������� ����� ������������ ���������, ������� � ������������� ���������, ����� ��� ������ ��� ����� ����, �� ����������� �� ����� ���������� �������� ������ ������ ��������������� � � ����� ������ ������ ��������� �������� ������ ������������ �����.



����������������������� ������� (micro-electromechanical systems, MEMS), ������������� � ������������ ���, �� ���������� �������� �������� ������, ������ ��� � ��� ��� ������� ����������������� �������. ������ ����� �������� ����� ������ ���������� ��� ������������ ���������, ����������� ����� ����� �����������. ����� �������� ����������� ����� ����� ����������� ��������� ���������� ��������, ��������� ������������� � ����������, �������� ���� ���� ����� ������������ ����������.

�������, ���������� ����������� ����� ������, ����� ��������� � �������� ����� �����, ������ ���� MEMS-����������. ��, ������ �� ����� ��������� ��������� ��� ����� ���������� ����, ����������� ���������� ������� ���������� �������, ��� ������ �������� � ���������� MEMS-���� ������������ � ������������ ������������ ���������� ����.

����� ���������� ����� ������������� ����������� ����� ���������� ������� ������������ ����� � 1.5 �, ��� �������� � ������ ��� ����, ��� ����� ������������ ������ MEMS-���������. ������������ ���������� MEMS-��������� - �� ������� �������, ������� ������� ����� ������� 25 �� 25 ������ � �������� ������� � �������.

������� ��������, ��� ������ ��� ������� ������ ��������� ����������� ���� �� MEMS-���������. ���� ����� ������ ����������� ���������� ����� �������� ���� �������� ������� �������, ��� ������������ ������� ������� ��������, MEMS-����� �������� ���������� ���������, �� ������������ �� �������� ��������� ����������. ��������� ������ �������� ���� ���������� ����� ���������� ����������� MEMS-���������� � ��������� ���������������� ����������, ������� ������ ��� ��������� ��������� �������������� � ���������� ������ � ����� ������� ��������.