�� ���������� ����� ����������� � ����� ��������� �����, ����������� ����������� ��������������� �� ����������� ����, ��������� �����������, ����� ������ � ������� (������������ ���������) ������� ���������� ����� 10 ����������. �� ����������� �������� IBM ��� ����������� ����� ����������, ������� �������� ��������� �������������� ������� � ��� ����, �� 5 ����������. ����������� � ������ ����� ���������� ������������� ������������ ��� ��������� FinFET, ����������� �������� ����������� �������� ���������, ��������� �� ������� ���������� ���� �� ����� ����-������. �������� ��������, ����� ��������� ������������ �������� ��������� �� � ���������� 30 ���������� �� ��������� ����, �������� � ������� ������ �����������, ����� �����, ����� ��������� ������� ������� ������� ������������������ ����� � �� �������������.
������ ���������� �������� ���������� ������������� 7-�� ����������, ������������� ��������� IBM � 2015 ����, ��������� � ���������� GlobalFoundries � Samsung. ������� ������� ����� ����� ����������� ����� 20 ���������� ������������ �� ���������, � ���������� ��� ���� ��������� ��������� ����� ���������� � ���������������� ����������. ���������, ��� ����, ����������� �� ������ 7-�� ����������, �������� �� ����� �������������� � 2019 ����.
���������� �������� ����������� �� 5 �� �������� ��������� �� �������� ���� �������������� 10 ���������� ������������. � ��������, ����� ���� ��������� �� 5 �� � ������� ����������� ������������, �� ����� ���������� ����� �� ��������������� �������� ������������ ����������. �������, ���� � ���� ����� ������������ �����������, ����������� �������� IBM ��������� ����������� ���������� ����� ����������� ���������� �����.
��� ��� ����������� ����, 5-�� ���� ��������������� ����� ��������� ���� �� ����� ���������� ����� ���������� ����-������. ��� ��������� ������ ����������� ������ ����� �� ������ ��������� ������� �����������, � �� �����, ��� � ������������ FinFET ������� ��� ����������� ������� � ��� ������. 5-�� ����������� ��������������� ��� ������ ���������� ���������������� ���������� (Extreme Ultraviolet Lithography, EUVL), ������� ��������� "��������" ������ �� �������� ��� ������ ����� ���������������� � ��������������������� ���������, ������ ������ ������. ���, � ���� �������, ��������, ��� ��� ������ ������ ������ ����� ��������� ����� ��������� �������� ����� � ����� ������� ���������. ��� ����, ����� ���������� EUVL ��������� ������������ ����������� ������������� ����������� ����� � �������� ������������.
�� ��������� � 10-�� ������, 5-�� ���� ����� �������� � 40 ��� ������� �������������������, � ���������� ������������ ��� ������� �������� �� 75 ��������� ��� ���������� ����������� ���������� ���������������� ��� ���� �����. �������� ��������� ���������, ������ ������������ 5-�� ���� ����� ��������� �� ����� �� ����� ��� ����� 4-5 ���.