����� ���� ������� � ������� ������������, � ������ ��������� ������� ���������, ��� ������� �������� ���������� �������������, ��������� ������� ������������� ������� � ��������. � ����������� ������� ����� ������� �������� �� ������, �� � ������� ��� ��� ����� ���������� ����� ������������ �������. ������ � ���� ����������� ��������� ������ �� ��������� ����������� ���������� ����������� (Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems, ENAS), ������, ��������, ������� � ������ �������� SEMICON Europa ������������������ ��� ����� ��������� ����������. � �������� ����������� ����������� ���� �����- � ������������� ������������, ���������� �� ������������� ��������� ������������������������ ������ (microelectromechanical systems, MEMS).



�������������������� ������������ ���� ���� ������ ������� - ��������� � ���������. � ��������� ������������, ������ �������� ���������� ����� �� ������� �������� ������� �������, ������������ ���������� MEMS-�������, ��� ��������� ����� ���������� �������� ���������� ������� �������� ���� ����, �� 3 �� 11 ������. �� ���� ������������� ���������� ������������ ���������� ������� ������ ����������� ����� ������������ ���������� �� 50 �� 200 ����������. � �� ���� ������������� ����������� ������ ������ ����� ����������� ����������� ����� 70 ���������, ���������� ��������� ������� ����������� ��������� �������������� �������� � �������������� ������� ��� �������, ��� ������ � ������ ������� ��� ������� ����� ��������, ������� �������� ����� �������, ������������ � ��������� �������� ��������.

���� ������������ ������� ����������� ����� ����� ������� ������� ������������� � �������������, �� ����������� � ����������� ��������� ���������������� ��� � ����������� ������� ������������ ���������, � �� ���� ����� ������������� ���������� ������� ����� �� ���������� � ��������� �����. ����� �������������� ���������� ����� ���� ������������ � ���������������� ���������, ������� �������� ������������ ���������� � �������� �������� �������� ������� ���������.



�� ����� ���������� ����������, �������������������� ��������������� ��������� �����������, �������� ����������� ������ ���������� �������, ���������� �� �������� ������ �������������� �����-���� (Fabry-Perot interferometer,FPI). ���� ������������� ��������� �� ����������� ����, �������� 7 �� 7 � �� 0.6 ����������, � ��� ��������������� �������� ������������� ������������ �������. ��������� ��������� ����� ��������� ������ �� ��������� ��������� ��� ������������� � ����������� ������������ ������, � ��������, � ������������ ������� ������������, � ������������, ���������� � ��������� � ����������� ����������, � �������� �������� � ������������.