����� ������� ����, ������� �� �� �������� ��������� �� ��������� ������ �����, ������, ��� ��� ����������� ���������� ������ �������� �������������� ���������� ���������� ������������ � ������������ ����������� ������ ����������� ������ ��� ����. ����������� �������������� ��������� ��������� ���� ����� � ������� ���������� �����������, �� ������ ���������� ��� �������� ������������ � ��������, ��� �������� � ���� ��������� �����������, ��������� � ���������� ����������� ��������� ��������� ������ ����������� �����������. ������, �������� �� ��������������� ���������������� ��������� � ������������ ������������ ����������� ����� ��������������� �������, ������� ��������� ���������� "����������" �����������, ������� ������� � ��� ���� ������, ��� ������� ����� ��������� ������������, ������������ ������ � ������������ ���������.

�� ��� ����� ������������ ���������� ������������ ����� �������� ���������� �� 14 ��. ��������� � ������ ������ �������� ������� ������, ��������� ����������, ������������� ������ �����������. � ��������� ����� ���������� �������� ���������� �� 10 ��, �� ��������� ������������� ����� ��� �������� ������� �� 7-�� ����������. ��� ��������, ������������� ��������� ��������, � ��� ����� � IBM, �������� ��� ��������� 5-�� ���������������� ��������.

����� �����������, ��������� ���������������, ����� ������� � 2.5 ��, ��� � ��� ���� ������ �������� ���� ����������������� ������������, ����������� � ������ ����������. �������� �������� ������ ���������������� �������� �������� ���������� �����������������, ���������� ���������� ������� ��������� ����������� (thermal atomic layer etching, thermal ALE). � ���� �������� ������� ��������� �� ������������������ ���������, �������� ������-�����, ������� ������������ ��������� �������� ��������, ��� ��������� �������� �� ����������� �������������� ��������� ���� ������� �������.

����� ����� ���������� ��������� �������������� ������������ ��������� ��� ��������� DMAC (dimethylaluminum chloride), ������� �������� � ���������� ������� � �������� �������. ����� �������� DMAC, ���������� �� ������������ ������� �����������, ���������, ������ � ��� � ��������� ��������� ��������� ���� �������. �� ���� ���� ����� ��������� ��������� ���� ������� � 0.02 ��, ��� ��������� ��������� ���������� ������������ ����������, ��� ������� ��������� ���������� �������� ����� � ������ ���..

"��� ������� �� ��������� ������ ������� �������" - ������������ ������ ��� (Wenjie Lu), ������� �������������, - "�� ������ ����� �� ������� ������ ��� �������� �� ������ ���������, ��� ���� ��� ������������ ��������, ������������ ������ �������� �� ����� ��������, ������� ��������� ������ � ������� ������� ����� ��� ������������".

������������� ������������ ����� ���������� ���������� ��� ������������ FinFET-������������ (Fin Field-effect transistor), ������������, ������� ���������� ���������, ������� � ��������� ����� �������� ������ �������������� � �����������. ������ ����� ��������, �������� ������� �������������� ����� ������������ �� 60 ��������� ��������� ����������� �������������� ������������ ������������, � ���������� ������� ����������� ������������� ������ � �������� � �������� ��������� ������ ����� ����������� ������ ������������ � ����� ������ ������������ ��� ��� ������ �������.

"�� ��������, ��� ���������� ����� ������ ������ �������� ������� �� ���������� ��� ��� � ����� ��������� �����" - ������������ ������ ���, - "��� ������� �������� �������� ������������ ������������� ��������� �� ��������� ������. ��� �� ������������������, ��� �������� ��� ������ ��������� ������� ������������ � ���������� ����� ������� ���� ��� ��������� �����".